Revêtement en graphite pyrolytique (PG)

Le revêtement PyC est principalement utilisé dans les systèmes de croissance de cristaux de SiC, notamment dans les fours PVT. L'objectif n'est pas tant de repousser les limites de température que d'améliorer le comportement des pièces en graphite au fil du temps.

Le revêtement forme une couche relativement uniforme sur des composants tels que les anneaux de guidage d'écoulement ou les structures d'isolation. Ceci contribue à réduire la pénétration des gaz et limite la contamination par le carbone, qui pourrait autrement affecter l'environnement de croissance.

En pratique, les anneaux de guidage d'écoulement revêtus de PyC sont probablement les plus courants, mais le même principe s'applique aux anneaux de support ou aux écrans thermiques. Pour de nombreux utilisateurs, l'objectif est simple : assurer la stabilité du système sur de longs cycles, plutôt que de rechercher des températures de fonctionnement plus élevées.