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Feutre doux de haute pureté
Le feutre souple haute pureté de Semixlab est spécialement conçu pour les applications exigeantes à haute température dans la fabrication de semi-conducteurs. Fabriqué à partir de précurseurs carbonés de haute qualité et purifié par un procédé de pointe, ce feutre souple offre des niveaux d'impuretés extrêmement faibles, une excellente isolation thermique et une adaptabilité structurelle remarquable. Sa structure flexible permet un ajustement précis au sein de conceptions complexes de champs thermiques, optimisant ainsi les gradients de température et garantissant des conditions de processus stables. Nous restons à votre disposition pour toute demande d'information.
Description
Pourquoi la pureté est-elle importante dans les domaines thermiques ? Et notamment lors de la production de la troisième génération ?
Les feutres isolants traditionnels à forte teneur en cendres (plus de 500 ppm) utilisés dans les semi-conducteurs (SiC/GaN) ont tendance à libérer des impuretés métalliques à des températures supérieures à 1600 °C. Cela provoque des défauts de réseau et diminue le rendement des plaquettes.
Le feutre souple de Semixlab est soumis à notre procédé exclusif de purification chimique à haute température, ramenant le taux d'impuretés à moins de 5 ppm. Ceci garantit non seulement un environnement de croissance propre, mais assure également l'extrême stabilité thermique nécessaire à la croissance cristalline sur de longues périodes.
Semixlab Edge
Nous sommes bien plus qu'un fournisseur : nous sommes votre partenaire pour les zones à haute température. Fondée par des chercheurs de l'Académie chinoise des sciences (CAS), notre entreprise excelle dans l'association de solutions d'isolation et de revêtements CVD (TaC/SiC). Nous ne nous contentons pas de fournir du feutre isolant ; nous optimisons l'ensemble de votre champ thermique grâce à des résistances en graphite et du TaC poreux afin de réduire la consommation d'énergie. Notre atelier d'usinage CNC 5 axes intégré nous permet de réaliser des kits pré-assemblés sur mesure, parfaitement adaptés à la conception de votre four et sans aucune erreur.
DONNÉES TECHNIQUES
| Propriétés | Feutre de qualité supérieure à base de PAN | Feutre à base de viscose haute performance |
| Total des impuretés | ≤5 ppm (GDMS) | ≤ 10 ppm |
| La teneur en carbone | ≥99.99% | ≥99.95% |
| Densité apparente | 0.10 - 0.15 g/cm³ | 0.08 - 0.12 g/cm³ |
| Condition thermique (à 1000 °C) | 0.12 - 0.15 W/m·K | 0.09 - 0.13 W/m·K |
| Température de service maximale | 2800°C (Inerte/Vide) | 2600°C (Inerte/Vide) |
| Epaisseur standard | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm |
Applications
Applications critiques
Performances éprouvées sur le terrain :
Conçu pour la croissance de SiC et de silicium (PVT/CZ), notre feutre agit comme stabilisateur thermique pour limiter les dislocations cristallines. En MOCVD/épitaxie (compatible avec Aixtron et NuFlare), il reste inerte sous les flux corrosifs d'H₂/NH₃, bloquant ainsi la diffusion des impuretés. Pour le tréfilage et le frittage du saphir, son absence de dégazage garantit l'intégrité du vide et prévient les pertes de rendement.
Avantage concurrentiel
Avantages de base
Pureté ultra-élevée (< 5 ppm), vérifiée par GDMS. Contrôle strict des teneurs en Al, B, Fe et autres impuretés clés afin d'éviter toute contamination croisée lors de la croissance épitaxiale.
Excellente isolation thermique : conductivité thermique aussi faible que 0.12 W/m·K à 1000 °C, réduisant les pertes de chaleur et contrôlant le gradient thermique à ±1 °C près.
Faible émission de particules : Le traitement optimisé des fibres et de la surface réduit la poussière dans les cycles de vide, protégeant ainsi les suscepteurs et les éléments chauffants en graphite CVD (TaC/SiC).
Grande flexibilité et ajustement : Souple et compressible pour un enrobage sans couture à 360° sur les fours complexes, empêchant les fuites thermiques des isolants rigides.
QFP
FAQ optimisée
Q : Comment le feutre souple Semixlab améliore-t-il la durée de vie des résistances en graphite ?
A : En fournissant un écran thermique plus stable, notre feutre souple réduit la charge électrique requise par le chauffage pour maintenir les températures cibles, ralentissant ainsi la sublimation du carbone et l'oxydation des éléments chauffants en graphite.
Q : Votre feutre peut-il être utilisé dans des environnements à fort débit de gaz ?
R : Oui. Pour les procédés à haute vitesse de gaz (comme le MOCVD), nous recommandons notre feutre haute densité à base de PAN ou une solution hybride avec un revêtement en feuille de graphite, qui empêche l'érosion des fibres et garantit une contamination particulaire nulle.
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