Porte-bateaux à plaquettes de quartz

Le support de nacelle en quartz Semixlab est un outil de transport haute performance conçu pour les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque, des LED et de l'électronique de précision. Il est fabriqué en quartz synthétique de haute pureté. Consommables de base des procédés haute température, les supports de nacelle en quartz sont devenus des supports idéaux pour les wafers, les plaquettes de silicium, les substrats en verre et autres composants de précision, notamment par diffusion, recuit, oxydation, CVD (dépôt chimique en phase vapeur), grâce à leur excellente stabilité thermique, leur inertie chimique et leur durée de vie ultra-longue, permettant aux clients d'obtenir des processus de production efficaces et stables.

Scénarios d'application ou équipements : 

Procédé de diffusion, de recuit, d'oxydation et de CVD (dépôt chimique en phase vapeur) des semi-conducteurs.

Force de l'entreprise

Semixlab Technology Co., Ltd. dispose de deux centres de R&D, de deux sites de production, de 2 lignes de production et de plus de 2 employés. Son investissement en R&D dépasse les 12 %. Nos produits sont principalement utilisés dans les secteurs des LED, des circuits intégrés, des semi-conducteurs de troisième génération, du photovoltaïque et d'autres industries. Semixlab dispose de solides capacités de R&D, de production et de tests et vérifications intégrés. Parallèlement, nous améliorons constamment nos technologies et nos équipements grâce à des investissements de plusieurs dizaines de millions de dollars par an.

Services personnalisés

Pour répondre à des besoins divers, nous proposons des services de personnalisation flexibles et prenons en charge les ajustements de paramètres suivants :

Spécifications de taille : Adaptez-vous à différents substrats tels que 8 pouces et 12 pouces, ou personnalisez des structures de forme spéciale selon les dessins du client.

Traitement de surface : sablage, revêtement (tel que le revêtement en carbure de silicium) et autres procédés en option pour améliorer l'applicabilité dans des scénarios spécifiques.

Intégration d'accessoires : peut être associé à des piliers en quartz, des déflecteurs et d'autres composants pour former un système de transport complet.

Système d'assurance de qualité

Test de matière première : Sable de quartz de haute pureté importé, analysé par ICP-MS (spectrométrie de masse à plasma à couplage inductif).

Contrôle du processus : usinage de précision CNC + tests automatisés, tolérance des dimensions clés ≤±0.05 mm.

Emballage propre : Emballage environnement ultra-propre de classe 100 pour éviter la contamination pendant le transport.

Scénarios d'application typiques

Fabrication de semi-conducteurs : utilisé pour les processus de recuit à haute température, d'oxydation et de dépôt de couches minces de plaquettes dans des fours de diffusion et des fours verticaux.

Industrie photovoltaïque : Transport et transmission de cellules PERC et TOPCon en PECVD, diffusion du phosphore et autres procédés.

Épitaxie LED : positionnement précis et croissance épitaxiale à haute température de substrats de saphir dans les équipements MOCVD.

Domaine de recherche : Frittage et essais de matériaux dans des fours de laboratoire à haute température et des environnements sous vide.

1. Excellente résistance aux hautes températures

Le support de nacelle en quartz résiste durablement à des températures supérieures à 1200 °C, avec un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible (environ 5.5 × 10⁻⁷/°C). Il maintient la stabilité structurelle même en cas de refroidissement et de chauffage rapides, évitant ainsi les fissures et les déformations dues aux contraintes thermiques et garantissant la répétabilité du processus.

2. Pureté ultra élevée et inertie chimique

Fabriqué à partir de sable de quartz de haute pureté à 99.99 % ou plus, sans précipitation, sans pollution, empêche efficacement les ions métalliques ou les impuretés particulaires de contaminer la surface de la plaquette à haute température, particulièrement adapté aux processus avancés avec des exigences de propreté strictes (comme la fabrication de puces en dessous de 7 nm).

3. Conception structurelle de précision

La surface du support de bateau est polie avec une haute précision (rugosité Ra≤0.2μm), équipée d'une structure de fente brevetée, qui peut transporter de manière stable des substrats de différentes tailles (tels que des plaquettes de 8/12 pouces), assurant un chauffage uniforme et une circulation de gaz, et améliorant l'uniformité du processus.

4. Durée de vie ultra longue

Par rapport aux supports traditionnels en graphite ou en céramique, les matériaux en quartz ont une forte résistance à la corrosion, un faible taux de perte dans les atmosphères acides/alcalines et un cycle d'utilisation continue pouvant atteindre 12 à 24 mois, réduisant considérablement les coûts globaux du client.