Pièces en quartz

Le quartz reste omniprésent dans la fabrication des semi-conducteurs. Bien qu'il ne soit pas nouveau, il est fiable et la plupart des usines de fabrication de semi-conducteurs connaissent bien son comportement. Pourvu que sa pureté soit maîtrisée, il donne d'excellents résultats lors des étapes de diffusion, d'oxydation et de nettoyage.

De nombreuses pièces en quartz sont utilisées dans les systèmes de fours ou les outils PECVD. L'exigence principale est la stabilité : une durée de vie prévisible, et non nécessairement une longue durée de vie. Cela est généralement suffisant pour de nombreux procédés standard.

Bien sûr, le quartz a ses limites. Il peut s'user plus rapidement dans certaines conditions, notamment comparé au carbure de silicium (SiC). Mais comme il est relativement facile à trouver et peu coûteux, il reste très utilisé.