Produits

• Revêtement CVD

  • Revêtement CVD en carbure de silicium (SiC)
  • Revêtement CVD en carbure de tantale (TaC)
  • Revêtement en graphite pyrolytique (PG)
  • Revêtement en carbone de verre

• Céramique semi-conductrice

  • Céramique SiC
  • Pièces en quartz
  • Céramique d'alumine
  • Pièces en silicone

• Carbone semi-conducteur

  • Cadre en fibre de carbone
  • Graphite

• Matériau d'emballage pour semi-conducteurs

  • Matériaux d'emballage organiques
  • Matériaux d'emballage inorganiques

• Nouvelle technologie

  • Plaquette 3C-SiC
  • Matière première pour la croissance des cristaux de SiC

• Équipements pour semi-conducteurs